超声波扫描显微镜（C-SAM）此检测为应用超声波与不同密度材料的反射速率及能量不同的特性来进行分析， 利用纯静水当介质传输超声波信号，当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透，此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异，来检验材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。 是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发（R&D）等领域。