脱盐水又叫除盐水、去离子水、纯水，一般指将水中易去除的强导电质去除又将水中难以去除的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水，水中剩余含盐量一般在1.0mg/L以下，25℃时，水的电阻率为1.0~10×106Ω.cm。高纯水是指25℃时电导率小于0.1 μs/cm和残余含盐量小于0.3 mg/L，并去除了非电介质的微量细菌、微生物、微粒等杂质的水，制备方法需蒸馏、膜分离、离子交换和灭菌，主要用于电子和微电子工业，也用于食品、造纸、医药、电子、核工业等行业。我国高纯水的国家标准将电子级水分为五个级别，相应标准为EW-I、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-IV、EW-V，其中EW-I它所要求的杂质控制指标如下：电阻率在90%时间内达到18 MQ·cm（25℃），其余时间较小值为17 MQ·cm（25℃），大于0.5 μm的微粒数少于100个/mL，细菌个数较大值1个/mL，总有机碳含量不大于50 μg/L，二氧化硅总含量不大于2 μg/L，氯、钾、铝、铁、钙的含量均不大于0.5 μg/L，而铜、锌含量不大于0.2 μg/L。