电子无尘车间要求：   洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置： 1 运行班次或使用时间不同； 2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响； 3 对温、湿度控制要求差别大； 4 洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊； 5 净化空调系统与一般空调系统； 6 系统风量过大的净化空调系统。 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3．2．3条的规定。 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式GX真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。 气流流型的设计，应符合下列要求： 1气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流； 净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统， 洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。 多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂房的净化空调系统的新风，应集中处理。 风机过滤器机组的设置应符合下列要求： 1应根据空气洁净度等级和送风量选用； 2应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置； 3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定； 4送风量应能调节； 5应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求。 层流罩的设置应符合下列要求： 1洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩； 2层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用； 3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定； 4安装方式不应影响生产操作。