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离子溅射仪喷金仪

供应商:广州英鹏光电科技有限公司【点击进入商铺】

所在地:广东省广州市

联系人:黄女士

价格:面议

品牌:英鹏

发布时间:2023-02-22

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【产品详情】离子溅射仪喷金仪

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参数: 主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H) 靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H) 靶材:Au(标配)也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H) 样品台尺寸:可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定样品台 靶材尺寸:Ф50mm 真空指示表:真空度:≤ 4X10-2 mbar 离子电流表:电流:50mA 定时器:时间:0-360S 微型真空气阀:可连接φ3mm软管 可通入气体:多种 电压:-1600 DCV 机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8) 输入电压:220V(可做110V),50HZ

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